晶圓劃片在芯片制造后期，一整片晶圓上已經(jīng)制作了成千上萬(wàn)個(gè)獨(dú)立的芯片。

劃片機(jī)的任務(wù)就是將這些芯片沿著切割道精確地分割成單個(gè)的芯片單元，以便后續(xù)進(jìn)行封裝和測(cè)試。

劃片機(jī)主軸要求極高的切割精度（微米級(jí)）、

極小的切割道寬度（以節(jié)省晶圓面積）、極低的崩邊和裂紋，以確保芯片性能不受損傷。

因此推薦這款A(yù)BT-1000氣浮主軸，或者是ABT-1600氣浮主軸。

為什么要選擇ABT-1000氣浮主軸作為劃片機(jī)主軸？

傳統(tǒng)電主軸高速運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量熱量，導(dǎo)致主軸自身熱膨脹（熱伸長(zhǎng)）。

這會(huì)使切割刀尖的位置發(fā)生微米級(jí)的“漂移”，

導(dǎo)致切割位置不準(zhǔn)，切偏甚至切到芯片電路，造成整片晶圓的報(bào)廢。

而ABT-1000氣浮主軸，氣動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，近乎零發(fā)熱，

其動(dòng)力來(lái)源于壓縮空氣驅(qū)動(dòng)渦輪旋轉(zhuǎn)，這個(gè)過(guò)程本身不產(chǎn)生焦耳熱。

因此，主軸在長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行中不會(huì)產(chǎn)生熱量，從根本上杜絕了熱伸長(zhǎng)現(xiàn)象。

晶圓制造廠(chǎng)設(shè)備成本高昂，需要24小時(shí)不間斷運(yùn)行以追求最大產(chǎn)能。

因此，對(duì)主軸的要求是能夠長(zhǎng)時(shí)間、高負(fù)荷穩(wěn)定運(yùn)行，并且維護(hù)周期長(zhǎng)，壽命高。

ABT-1000氣浮主軸無(wú)接觸、無(wú)磨損設(shè)計(jì)：軸與軸承不接觸，沒(méi)有金屬摩擦，從根本上消除了機(jī)械磨損。

其壽命遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)的滾珠軸承主軸。無(wú)需更換軸承，大大減少了停機(jī)維護(hù)時(shí)間和成本。

且氣冷卻，得益于無(wú)發(fā)熱和無(wú)磨損的特性，ABT-1000氣浮主軸允許長(zhǎng)時(shí)間高速運(yùn)行，

可以輕松應(yīng)對(duì)24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)模式，為半導(dǎo)體制造商提升設(shè)備利用率。

ABT氣浮主軸轉(zhuǎn)速有10萬(wàn)轉(zhuǎn)和16萬(wàn)轉(zhuǎn)可選，極高的線(xiàn)速度確保了切割效率，尤其適用于硬脆材料的高效加工。

專(zhuān)為小直徑刀具優(yōu)化：半導(dǎo)體切割通常使用極薄的金剛石刀片來(lái)減少切割損耗，節(jié)省晶圓面積。